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文章利用溶胶凝胶法在ITO／玻璃衬底上制备不同浓度Co掺杂的BiFe1－x Cox O3（ x＝0．00、0．05、0．1、0．15）薄膜样品。研究了Co的掺杂对BiFeO 3薄膜的结构、形貌、漏电流及介电性能的影响。 X－射线衍射（ XRD）结果显示，未掺的和Co掺杂浓度为5％的BiFeO 3样品为菱方钙钛矿结构，属于R3c空间群。而当Co掺杂浓度为10％和15％时，样品变为四方结构。原子力显微镜（ AFM）结果表明，随着Co掺杂浓度的升高，铁酸铋薄膜变得越致密，且尺寸越小。漏电流和介电性能分析结果表明