【摘 要】
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以Al2O3和AIN为原料，在氮气气氛下通过高温固相反应工艺合成氮氧化铝（AION）粉体，借助XRD分析系统研究了反应温度、保温时间及原料配比等工艺参数对反应产物相组成的影响并探讨了
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所,华东师范大学纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心
【基金项目】
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国家自然科学基金(50672113,50802106)
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以Al2O3和AIN为原料，在氮气气氛下通过高温固相反应工艺合成氮氧化铝（AION）粉体，借助XRD分析系统研究了反应温度、保温时间及原料配比等工艺参数对反应产物相组成的影响并探讨了反应机理．研究结果表明：该反应主要受热力学控制，动力学因素也具有重要作用，反应温度和保温时间对AION粉体的合成均具有重要影响．在相对较低的反应温度下，通过AIN固溶进入Al2O3晶格形成富氧（O—rich）的AI0N相；在相对较高的反应温度下，产物中少量残余的AIN通过进一步扩散固溶进入O-rich—A10N晶格形成富氮（N
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