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本文首先简单介绍了干涉仪在工程中应用的基本方法，并对干涉仪对零偏差导致的误差进行了分析仿真，最后给出了一种对零误差的修正方法并仿真，对无法通过物理方式确定零位并进行校准的干涉仪系统使用具有一定参考意义。
一种干涉仪测量系统校准对零偏差修正方法
【摘 要】
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本文首先简单介绍了干涉仪在工程中应用的基本方法，并对干涉仪对零偏差导致的误差进行了分析仿真，最后给出了一种对零误差的修正方法并仿真，对无法通过物理方式确定零位并进行校
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十九研究所
【出 处】
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电子技术与软件工程
【发表日期】
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2018年14期
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