单晶铜AFM加工过程的分子动力学模拟

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建立了AFM针尖切削单晶铜的分子动力学模型。分别采用对势Morse势和多体势EAM势计算工件原子之间的相互作用,研究了不同势能函数对模拟结果的影响。发现两种不同势能函数作用下切屑和加工表面的形成的差别很小,但是用Morse势时系统的势能和牛顿层的温度比用EAM势时要大。用EAM势计算工件原子之间的相互作用,分析了不同切削深度下系统势能、工件单个原子势能的变化,发现随着切削深度的增加,系统势能增长的斜率增加,单个工件原子势能突变的梯度减小。 A molecular dynamics model of AFM tip cutting single crystal copper was established. The interactions between the workpieces are calculated by using the potential potential Morse potential and the potential multi-potential EAM potential, respectively. The effects of different potential energy functions on the simulation results are also studied. It is found that there is little difference between the chip and the machined surface under the action of two different potential functions, but the potential energy of the Morse potential system and the temperature of the Newton layer are larger than those of the EAM potential. EAM potential was used to calculate the interaction between the atoms of the workpiece. The potential energy of the system and the potential energy of a single atom of the workpiece at different depths of cut were analyzed. It was found that with the increase of the depth of cut, the slope of potential energy growth increased. Decrease
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