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建立了激光烧蚀流道凸起模型,获得了流道凸起与激光功率和作用时间的关系。模拟结果表明：增大激光扫描速度,减小激光照射时间,选择较低的激光功率可以减小流道凸起高度。模拟结果对激光直写PMMA微流道表面质量控制有指导意义。
CO_2激光直写PMMA微流道凸起仿真研究
【摘 要】
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建立了激光烧蚀流道凸起模型,获得了流道凸起与激光功率和作用时间的关系。模拟结果表明：增大激光扫描速度,减小激光照射时间,选择较低的激光功率可以减小流道凸起高度。模拟
【机 构】
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中国石油大学机电工程学院
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2011年6期
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