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五氟乙烷的纯化方法、制备方法及其用途rn将含有含一个碳原子的含氢氟烃、含一个碳原子的含氢氯氟烃和含一个碳原子的含氢氯烃中的至少一种化合物的粗五氟乙烷与吸附剂接触进行纯化,所述吸附剂包括平均孔径为3～6且硅/铝比为2.0或更低的沸石或平均孔径为3.5～6的含碳吸附剂.经纯化的气体可以用做低温制冷剂或蚀刻气体.