高速光电探测器关键技术研究

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高速光电探测器是光通信的核心芯片,其中,雪崩光电二极管具有高灵敏性、低噪声和高倍增带宽积等优点,受到业界的青睐.研究了结构分层、薄倍增层、低噪声倍增层材料、表面类型设置和进光方式等雪崩光电二极管设计与制作的关键技术.
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