VCA Direct-Drive High Speed and Precision XY Table

来源 :Transactions of Tianjin University | 被引量 : 0次 | 上传用户：skylfy

【摘要】

：

In order to compensate for the limitation of conventional XY table used in semiconductor integrated circuits(IC) packaging and improve its speed and accuracy, a

【作者】

：

赵兴玉冯晓梅张大卫

【机构】

：

SchoolofMechanicalEngineering,SchoolofMechanicalEngineering

【出处】

：

Transactions of Tianjin University

【发表日期】

：

2007年6期

【关键词】

：

音圈致动装置退耦装置电装置精密度 XY table voice coil actuator（VCA） decoupling mechanism el

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In order to compensate for the limitation of conventional XY table used in semiconductor integrated circuits(IC) packaging and improve its speed and accuracy, a voice coil actuator (VCA) direct-drive high-speed and precision positioning XY table used in w

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