新的3D缺陷检测技术实现纳米级快速检测

来源 :计测技术 | 被引量 : 6次 | 上传用户：juejiang12

【摘要】

：

设备制造技术所涉及的器件规模越来越小,有的不过就22nm,可复杂程度却越来越高,因此,缺陷对于器件性能的不利影响也越来越大,而缺陷检测也越来越难。美国国家标准技术研究院(NIST)下属的物理测量实验室(PML)已经找到一种能够快速且无损地生成3D图像的技术,从而实现了纳米级缺陷的快速检测。这项技术主要依靠散射场光学显微镜测量仪,这是一项NIST在5年前就发明的技术。散射场显微镜使用的照明手段是针对

【作者】

：

李莉萍

【出处】

：

计测技术

【发表日期】

：

2013年04期

【关键词】

：

缺陷检测快速检测检测技术 3D图像纳米级标准技术研究院设备制造技术器件性能

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