【摘 要】
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3.15 提高成品率rn根据2011年版路线图重新划定的章节范围,“提高成品率”一章目前包括“晶圆环境与污染控制”(WECC)和“鉴定、检测和分析”(CIA)两个子章节.因此,提高成品
【机 构】
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工业和信息化部电子科学技术情报研究所,北京,100040
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3.15 提高成品率rn根据2011年版路线图重新划定的章节范围,“提高成品率”一章目前包括“晶圆环境与污染控制”(WECC)和“鉴定、检测和分析”(CIA)两个子章节.因此,提高成品率的活动都集中在这两个方面.rn根据表YE2,关键挑战在原则上保持不变.只是在某些情况下,为了表达清晰而有措辞上的修改.短期内在大于16 nm尺度上的最重要的关键挑战估计是小产量限制缺陷检测及其免滋扰识别.探测和区分多种致命缺陷,并同时保证高捕获率、低拥有成本以及高吞吐率,是很困难的.此外,把成品率相关的缺陷从大量噪扰和假缺陷中甄别出来,是一件令人生畏的工作.
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