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针对长光栅测量系统的误差特点提出了一种实用的综合修正方法.通过光电显微镜、线纹尺、数据拟合工具将光栅位移长度溯源到激光波长.提出的误差修正方法简单、实用、修正精度高.对于三坐标测量机、测长机等精密线位移平台都具有借鉴和参考价值.
长光栅测量系统误差修正方法
【摘 要】
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针对长光栅测量系统的误差特点提出了一种实用的综合修正方法.通过光电显微镜、线纹尺、数据拟合工具将光栅位移长度溯源到激光波长.提出的误差修正方法简单、实用、修正精度
【机 构】
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中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所,重庆长江轴承股份有限公司
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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2004年期
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