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以双目视觉为理论基础，建立数学模型，通过X射线成像方法对试件内部缺陷进行定位。在检测过程中，使试件移动一个小的距离，获得移动前后两幅图像，用视差方法求出缺陷深度。用仿真方法对数学模型进行了验证，用误差理论分析方法对可能影响测量结果的误差进行了重点分析，给出了各误差和测量结果的关系曲线，依据分析结果提出了调整系统参数等减小误差影响的方法。