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立方氮化硼（ｃ－ＢＮ）在机械、热、电子及光学方面有许多优异性能，因此世界上有很多研究人员从事ｃ－ＢＮ薄膜制备的研究，近年来薄膜沉积技术和ｃ－ＢＮ薄膜质量都已取得显著进步。介绍ｃ－ＢＮ薄膜的用途、结构、方法及存在的问题，重点总结了控制ｃ－ＢＮ相关键因素及ｃ－ＮＢ相形成机理。
c—BN薄膜研究进展
【摘 要】
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立方氮化硼（ｃ－ＢＮ）在机械、热、电子及光学方面有许多优异性能，因此世界上有很多研究人员从事ｃ－ＢＮ薄膜制备的研究，近年来薄膜沉积技术和ｃ－ＢＮ薄膜质量都已取得显著进步。介绍ｃ－ＢＮ薄膜的用途、结构、
【机 构】
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物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
：
1999年4期
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