微应变诱导各向异性硅纳米晶形成及其光学特性

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通过磁控溅射技术制备了非晶态富硅的碳化硅锗(Si 1-x-y Ge x C y)薄膜,经过后续高温热处理,形成各向异性硅纳米晶,其微结构和光学特性由高分辨电镜、光致发光及光吸收实验进行表征,研究了各向异性应变对硅纳米晶形态和光学特性的影响,阐述了各向异性硅纳米晶的形成机理。研究表明,在各向异性应变能的诱导下硅纳米晶沿着〈002〉、〈113〉和〈220〉取向择优生长,形成具有多形态的硅纳米晶,显著改变了其能级结构,在2.57 eV和2.64 eV的位置硅纳米晶存在PL发射光谱,光吸收波段明显增加,可以同时吸
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