【摘 要】
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采用电弧离子镀技术、TA5钛合金靶沉积TiAlBN薄膜 ,研究了这种多元膜的显微硬度、高温氧化性能和组织结构 ,结果表明 :这种多元膜具有优于TiN膜的显微硬度 ;不同于TiN膜的显
【机 构】
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广东工业大学材料与能源学院,广东工业大学轻工化工学院,广东工业大学材料与能源学院,广东工业大学材料与能源学院,广东工业大学实验研究中心,广东工业大学材料与能源学院,广东工业大学材料与能源学院 广东广州
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采用电弧离子镀技术、TA5钛合金靶沉积TiAlBN薄膜 ,研究了这种多元膜的显微硬度、高温氧化性能和组织结构 ,结果表明 :这种多元膜具有优于TiN膜的显微硬度 ;不同于TiN膜的显微组织 ,其最显著的特征是存在一些细小的钛滴 ;双靶工作状态下 ,这些钛滴与膜之间的融合效果较好 ,膜层表面孔隙较少 ;薄膜具有TiN的面心立方结构 ,与TiN膜相比 ,具有更加明显的择优取向趋势。
The TiAlBN films were deposited on TA5 titanium alloy by arc ion plating. The microhardness, high-temperature oxidation properties and microstructure of the multi-films were studied. The results show that the multi-films have better microhardness than TiN film. TiN film microstructure, the most significant feature is the existence of some small titanium droplets; dual target state, these titanium droplets and the better fusion between the film, the film surface porosity less; film has a TiN Face-centered cubic structure, with the TiN film compared with the more obvious preferred orientation.
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