RH真空泵系统泄漏故障查找的优化方法

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通过对真空泵系统分析和改进,研究出真空泵系统分段测试技术,制作了模拟测试真空室装置,实现了真空故障的快速准确查找,使查找时间缩短到原来的四分之一,为真空炉安全运行打下基础。
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