一种硅微振动角速度传感器

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rilson
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果。实验结果表明,该角速度传感器实验样机已具有一定的性能,其灵敏度为:3.2mV/(o·s-1);量程为:±500o/s;线性度:1%。 This paper introduces the structure, working principle, processing method, driving method, testing method and experimental results of an electrostatic driving and capacitance testing prototype of single degree of freedom silicon micro-vibration angular velocity sensor. The experimental results show that the experimental prototype of the angular velocity sensor has a certain performance with the sensitivity of 3.2mV / (o · s-1), the range of ± 500o / s and the linearity of 1%.
其他文献
随着大庆油田三次采油技术的进一步应用,油田采出液携沙量呈现逐渐增多的趋势,特别是三元复合驱为代表的多元复合驱油技术的应用,使得中转站、联合站所处理的采出液中泥沙含
随着国家经济发展水平和人们生活水平的日益提高,生产和生活用电量日益增加,所需的电能供应也随之增加.继而人们对产生电能的关键器件一发电机越来越关注.但大多数人们只是大
针对焦炉集气管压力这类多变量非线性系统 ,提出了一种基于模糊神经网络的智能协调控制方案 ,构成了焦炉集气管压力智能控制系统。实际应用表明 ,提出的控制策略有效解决了集
在空调器的匹配中 ,制冷剂充灌量和毛细管长度是两个非常关键的因素。本文采用理论与数值计算的方法 ,对制冷剂充灌量和毛细管长度对空调系统性能的影响进行了分析 ,为空调器
采用声发射检测与评价技术和应力测定的方法检验了高压天然气截止阀的安全性 ,制订了静压试验和疲劳试验两个方案 .在 0~ 38MPa的升压过程中 ,分别测试与计算了疲劳试验前与液
电磁兼容在变频传动系统中占有相当重要的地位,电磁干扰直接影响着系统能否安全、正常地工作.文章从工程角度介绍了电磁兼容的相关概念和理论并说明了如何进行变频传动系统电
建筑质量一直是人们非常关注的重要问题,其中建筑给排水及采暖通风工程的建设,更是直接关系着居民的生活质量.目前,在建筑给排水和采暖通风工程建设过程中还存在着一些较为顽
建立了煤燃烧脱硫过程中主要含硫阴离子及常见无机阴离子的快速离子交换色谱分离和定量方法。以 0 .8mmol/L邻苯二甲酸氢钾作流动相 ,非抑制型电导检测法检测SO32 - 和SO42 -
目的:了解绍兴市教师牙列缺失、牙列缺损的特点及修复状况.方法:由专职口腔医生,统一标准,采取一例一表制,对2112名绍兴市教师进行口腔检查.调查结果采用SPSS11.5软件统计分
为探讨新疆汉族原发性高血压(EH)患者血清转化生子因子β1(TGF-β1)水平与血压及高血压之间的关系.在流行病学调查的基础上采用病例-对照研究方法,对新疆300名汉族(150名高血