磁控溅射制备Co／Cu／FeNi三端结器件

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhanghui1860

【摘要】

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用磁控溅射及光刻工艺制成了 5μ m× 5μ m 的 Co/Cu/FeNi三端结器件,测量了不同注入电流下样品的输出电压与外磁场的关系,发现其输出电压与外磁场的关系曲线表明样品具

【作者】

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任妙娟季刚陈延学宋红强梅良模刘宜华

【机构】

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山东大学物理与微电子学院

【出处】

：

功能材料与器件学报

【发表日期】

：

2003年3期

【关键词】

：

磁控溅射三端结器件 Co/Cu/FeNi 制备双极性输出自旋晶体管 magnetron sputtering three terminal device

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用磁控溅射及光刻工艺制成了 5μ m× 5μ m 的 Co/Cu/FeNi三端结器件,测量了不同注入电流下样品的输出电压与外磁场的关系,发现其输出电压与外磁场的关系曲线表明样品具有自旋相关的双极输出信号,双极输出信号可达 17μ V.测量了输出电压与注入电流的关系,发现二者在电流比较小时呈线性变化,当电流比较大时偏离线性.

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