【摘 要】
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采用溶胶-凝胶工艺制备出纳米晶ITO透明导电薄膜.采用XRD和SEM分析了薄膜物相和显微形貌.采用面电阻仪和分光光度计测量了薄膜方阻和透光率.实验结果表明,随热处理温度升高,
【机 构】
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西安工业学院,中国船舶重工集团公司第十二研究所
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采用溶胶-凝胶工艺制备出纳米晶ITO透明导电薄膜.采用XRD和SEM分析了薄膜物相和显微形貌.采用面电阻仪和分光光度计测量了薄膜方阻和透光率.实验结果表明,随热处理温度升高,晶化趋于完整,组织逐渐均匀致密,晶粒有所长大,700℃热处理时薄膜完全晶化.另外,随热处理温度升高,方阻减小而透光率增加.经过700℃热处理,厚度400 nm的ITO膜的方阻约300Ω/□,透光率》80%.
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