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讨论了平面型场致热化电子发射阴极，对玻璃衬底/Mo/Ta2O5/ZnS/Au结构的平面型场致热化电子发射阴极的制备及其发射性能进行了论述，讨论了在不同工艺参数下器件的发射情况。实验表明，通过优化溅射时间参数和工艺手段制成的阴极对发射电流的大小有很大影响。通过对这些工艺参数的调整，得到了最高发射比(Ia/Ig)为4.5×10-4，向该阴极实用化迈进了一步。