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改良西门子法多晶硅还原生产是一个连续过程,接地已是导致还原生产过程中断的主要因素。针对各种因素的接地问题,提出一种新型计算控制方法,即借助还原炉自有电源作为检测驱动源,对还原炉的硅粉沉积、还原炉绝缘损坏接地、负载相间短路精准分辨,提高了每批次还原生产的成功率。
多晶硅还原炉接地、碰壁检测的影响
【摘 要】
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改良西门子法多晶硅还原生产是一个连续过程,接地已是导致还原生产过程中断的主要因素。针对各种因素的接地问题,提出一种新型计算控制方法,即借助还原炉自有电源作为检测驱
【机 构】
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四川英杰电气股份有限公司
【出 处】
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电工技术
【发表日期】
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2021年2期
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