【摘 要】
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静电力驱动在微机电系统中的应用十分广泛,但采用静电力驱动时所需控制电压较高。设计一种以定点数字信号处理器TMS320F2812为核心的传感器高压控制系统,采用USB2.0与PC机进
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静电力驱动在微机电系统中的应用十分广泛,但采用静电力驱动时所需控制电压较高。设计一种以定点数字信号处理器TMS320F2812为核心的传感器高压控制系统,采用USB2.0与PC机进行通讯,接收致动器所需控制电压,并控制D/A转换器输出,经过高压放大后施加到传感器上。测试表明USB传输速率可以达到20 Mbytes/s,D/A转换速率达到30 MHz,电压范围在（0—300）V之间,整个控制系统可以满足静电力控制传感器所需高压。
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