磁控溅射镀膜的原理与故障研究

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随着国际上片式电阻器工艺技术的高速发展,片式膜电阻器等新型电子元器件正在向更小尺寸、更高精度、更高稳定性和更新工艺的方向发展。片式电阻器在小型化(外形尺寸向1005方向发展)、大功率(2W、5W、10W等)、高精度(阻值精度为0.05%、0.01%)、温度系数(±5PPm)、超低阻〔阻值≤10Ω)、超高阻(阻值>100MΩ)等主要技术参数方面也相继提出了这些技术指标。片式薄膜电阻器是近几年来发展最迅速、应用范围最广、前景最被看好的新一代片式电阻器。 With the rapid development of chip resistor technology in the world, new type electronic components such as chip film resistors are being developed to smaller size, higher precision, higher stability and newer technology. The chip resistors are widely used in miniaturization (1005 size), high power (2W, 5W, 10W, etc.), high accuracy (resistance accuracy 0.05%, 0.01%), temperature coefficient (± 5PPm) Resistance 〔resistance ≤ 10Ω), ultra-high resistance (resistance> 100MΩ) and other major technical parameters have also put forward these technical indicators. Chip thin film resistor is the fastest growing in recent years, the widest range of applications, the most promising prospect of a new generation of chip resistors.
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