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文章建立了一套基于PSD的高精度二维快速反射镜（FSM）精跟踪系统。通过对快速反射镜基本原理的分析,建立了相应的数学模型,最终搭建出控制系统的模型,在Matlab中对模型进行仿真,整定出适合的PID参数,使得最后的定位精度小于5μrad。
基于快速反射镜的精跟踪控制系统的设计
【摘 要】
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文章建立了一套基于PSD的高精度二维快速反射镜（FSM）精跟踪系统。通过对快速反射镜基本原理的分析,建立了相应的数学模型,最终搭建出控制系统的模型,在Matlab中对模型进行仿真,
【机 构】
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南京理工大学自动化学院
【出 处】
：
科技创新与应用
【发表日期】
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2016年12期
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