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介绍一种激光测量大尺寸物体直线度的新方法。此方法优点在于测量精度并不取决于激光束的直线度及激光器本身的稳定性。用它可测数十米物体的直线度,使用粗光栅即可容易地达到微米以下的精度。
激光测量大尺寸物体直线度的新方法
【摘 要】
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介绍一种激光测量大尺寸物体直线度的新方法。此方法优点在于测量精度并不取决于激光束的直线度及激光器本身的稳定性。用它可测数十米物体的直线度,使用粗光栅即可容易地达到微米以下的精度。
【机 构】
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太原工学院激光研究室电子工业部第二研究所
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1984年11期
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