真空多弧离子镀薄膜结合力检测试验探究

来源 :失效分析与预防 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xinxinrenren

【摘要】

：

采用MIP-700多功能离子镀膜机对4Cr14Ni14W2Mo和W9Mo3Cr4V两种不同材料进行Ti N镀膜处理工艺研究,并利用WS-2005自动划痕测量仪测量其结合力,试验表明膜层结合力与基体材料的

【作者】

：

李璠李艳芬

【机构】

：

贵州红林机械有限公司

【出处】

：

失效分析与预防

【发表日期】

：

2015年6期

【关键词】

：

TIN 真空镀膜划痕仪膜基结合力临界载荷 TiN vacuum ion plating scratch test instrument film-subs

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采用MIP-700多功能离子镀膜机对4Cr14Ni14W2Mo和W9Mo3Cr4V两种不同材料进行Ti N镀膜处理工艺研究,并利用WS-2005自动划痕测量仪测量其结合力,试验表明膜层结合力与基体材料的硬度有关。本研究对国内外试验中＂临界载荷＂的定义标准及结合力的判据进行研究分析,定义了当薄膜开始出现破裂、剥落,摩擦因数急剧增大时所对应的法向载荷为试验测定的临界载荷,并以此作为膜层结合的判定指标。建立4Cr14Ni14W2Mo和W9Mo3Cr4V两种不同材料真空离子镀Ti N膜结合力的试验方法和膜基结合力

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