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在光敏面上镀制荧光薄膜将紫外光转变为可见光，是提高CCD和CMOS图像传感器紫外响应灵敏度的一种有效方法。针对荧光薄膜入射界面的散射和反射损耗降低荧光发光强度的分析，研究在荧光薄膜上镀制增透膜和阻隔膜的灵敏度增强特性。采用真空热阻蒸发的镀膜方法分别制备了单层Lumogen荧光薄膜和MgF2/Lumogen复合膜。利用原子力显微镜，紫外可见近红外分光光度计，荧光光谱仪对两种样品的表面粗糙度，漫反射和透射光谱以及荧光发光光谱分别进行对比测试分析。结果表明：M g F2保护层降低了表面粗糙度，减小了入射界面的漫