Tubular/helical architecture construction based on rolled-up AlN nanomembranes and resonance as opti

来源 :半导体学报:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liangzi_li

【摘要】

：

Aluminum nitride(AlN)has attracted a great amount of interest due to the fact that these group III–V semiconductors present direct band gap behavior and are co

【作者】

：

Jinyu Yang Yang Wang Lu Wang Z

【机构】

：

DepartmentofMaterialScience,ShanghaiInstituteofMicrosystemandInformationTechnology

【出处】

：

半导体学报:英文版

【发表日期】

：

2020年4期

【关键词】

：

ALN NANOMEMBRANES rolled-up technology HELICES optical MICROCAVITY

【基金项目】

：

the National Natural Science Foundation of China(Nos.61905270,51961145108),Natural Science Foundation of Shanghai(19ZR1467100),Science and Technology Commission of Shanghai Municipality(17JC1401700),t

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Aluminum nitride(AlN)has attracted a great amount of interest due to the fact that these group III–V semiconductors present direct band gap behavior and are compatible with current micro-electro-mechanical systems.In this work,three dimensional(3D)AlN arc

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