微型热管沟槽加工方法探讨

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微型热管在微型医疗器械、微型卫星等微电子领域具有广阔的应用前景,而微型热管的制造及应用首先需解决微热管管壳的加工问题.本文介绍了微型热管沟槽加工方法的分类、加工原理以及其在我国研究的进展情况.分析了几种加工方法的优劣情况,指出了未来微型热管沟槽加工研究的发展方向.
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