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本文主要涉及紫外激光加工技术。通过实验，将紫外／红外两种激光设备对材料的加工结果进行比较，发现在特殊材料加工上，紫外激光相对于红外激光，加工边沿更光滑、效率更高。对于用红外透过率较高的材料加工的红外器件来说，紫外激光在加工中具有明显的优势。
紫外激光在微细加工技术中的优势研究
【摘 要】
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本文主要涉及紫外激光加工技术。通过实验，将紫外／红外两种激光设备对材料的加工结果进行比较，发现在特殊材料加工上，紫外激光相对于红外激光，加工边沿更光滑、效率更高。对于用红
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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红外
【发表日期】
：
2008年6期
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