Manz发布业界产出量最快的湿制程设备加快cSi生产制程整合

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高科技产业整合解决方案供应商Manz将参展SNEC2012第六届国际太阳能产业及光伏工程(上海)展览会暨论坛(展位:E3馆,310),届时将展示其最新的晶体硅太阳能电池湿制程设备:IPSGCEI4800。该设备主要用于去除晶片背部及边缘的高掺杂层,进而产生化学边缘隔离(CEI),还能去除之前扩散过程中在晶片正面生成的磷硅玻璃(PSG)。
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