【摘 要】
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微波放电与辉光放电相比具有设备结构简单、容易起辉、耦合效率高、工作稳定、无气体污染及电极腐蚀、工作频带宽等优点，用于渗氛可简化设备、缩短时间和提高质量，因此有着广阔
【机 构】
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中国科学院等离子体物理研究所!合肥230031,中国科学院等离子体物理研究所!合肥230031,中国科学院等离子体物理研究所!合肥230031
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微波放电与辉光放电相比具有设备结构简单、容易起辉、耦合效率高、工作稳定、无气体污染及电极腐蚀、工作频带宽等优点，用于渗氛可简化设备、缩短时间和提高质量，因此有着广阔的应用前景。我们在微波共振腔放电装置的基础上建成一台2．45GHz的微波直接耦合表面波导放电等离
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