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申请(专利)号:201410219939.7公开(公告)日:2016-05—11申请(专利权)人:上海精腾新能源科技有限公司摘要:本发明涉及一种膜法氦气提纯装置系统及工艺:收集得到的混合氦气经第一预处理器的预处理,达到设定的人膜气体要求后,进入第一中空纤维膜进行分离;第一中空纤维膜分离得到的非渗透气回收或排空,分离得到的渗透气进入第二预处理器。