面向MEMS的微细加工技术

来源 :电加工与模具 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dej0415

【摘要】

：

MEMS技术将是21世纪科技与产业的制高点之一,而微细加工技术又是MEMS发展的重要基础.微细加工技术在传统光刻工艺的基础上,又发展了灰调光刻、Lift-Off、LIGA及准LIGA、激光

【作者】

：

罗均谢少荣龚振邦

【机构】

：

上海大学

【出处】

：

电加工与模具

【发表日期】

：

2001年5期

【关键词】

：

微机械 MEMS 微细加工技术微电子机械系统

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MEMS技术将是21世纪科技与产业的制高点之一,而微细加工技术又是MEMS发展的重要基础.微细加工技术在传统光刻工艺的基础上,又发展了灰调光刻、Lift-Off、LIGA及准LIGA、激光和分子装配等适应三维结构的新技术.本文综述了目前国内外各种微细加工及其关键技术的研究状况,并介绍了微细加工技术和MEMS的发展趋势.

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