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为了探究纳米金刚石复合薄膜中界面相粒子的微观行为，采用第一性原理方法计算了碳、硅单粒子在清洁金刚石（001）表面的吸附作用与迁移行为。包括c、Si粒子在金刚石（001）面四个高对称位置的构型总能和吸附能以及其在金刚石（001）表面的迁移激活能。结果表明：最稳定的构型是沿（001）生长方向沉积粒子与表面层两粒子相接，且c、si粒子迁移激活能分别为2．824eV、0．475eV。两激活能的差异表明：添加si能显著促进碳粒子的扩散并形成更加致密的纳米金刚石复合薄膜。