真空计现场校准装置的研制

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研制了一台便携式真空计现场校准装置,采用分体式设计,结构紧凑,装置小型化,便于现场移动.集成MKS薄膜真空计和370电离真空计作为标准器,利用静态比较法和动态平衡法,极限真空度可达10-6 Pa量级,在(1×10-3~1×105)Pa的测量范围内,相对扩展不确定度Urel=(5~0.5)%(k=2),解决了真空计及真空系统现场校准的难题,综合技术指标达到国内先进水平.
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