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为提高半闭环三轴机床加工精度，首先提出单伺服轴的螺距误差补偿方法；在建立半闭环三轴机床解耦轮廓系统模型基础上，研究了静态解耦轮廓控制器的设计，并在所提出的静态解耦轮廓控制系统上实现了螺距误差补偿。实验结果表明，算法有效地实现了轮廓的切线、法线和副法线方向的解耦跟踪控制。加入螺距补偿后，机床加工半球的最大圆度误差由55μm缩小到12μm。