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介绍了一种基于MEMS技术制作的微电容式无线加速度传感器在大型建筑结构振动测试系统中的应用。
集成微电容式无线加速度传感器的设计应用探讨
【摘 要】
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介绍了一种基于MEMS技术制作的微电容式无线加速度传感器在大型建筑结构振动测试系统中的应用。
【机 构】
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阿继集团哈尔滨泛微电子工程公司
【出 处】
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农机使用与维修
【发表日期】
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2008年01期
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