【摘 要】
：
选用二氧化硅抛光液抛光4H导电Si C晶片表面,探究影响Si C晶片表面质量的关键参数,获得更高的去除效率和表面质量。实验结果表明,Si C表面的氧化是氢氧根离子和双氧水共同作
【机 构】
：
北京天科合达半导体股份有限公司,新疆天富能源股份有限公司,新疆天科合达蓝光半导体有限公司,北京科技大学
论文部分内容阅读
选用二氧化硅抛光液抛光4H导电Si C晶片表面,探究影响Si C晶片表面质量的关键参数,获得更高的去除效率和表面质量。实验结果表明,Si C表面的氧化是氢氧根离子和双氧水共同作用的结果。保持压力不变并增加氢氧根离子或双氧水的含量,Si C表面去除速率先增加后保持不变。在更大的压力下增加氢氧根离子的含量,Si C表面的抛光去除速率进一步增加。通过优化的抛光参数,Si C表面的抛光去除速率达到142 nm/h。进一步研究结果表明,保持化学机械抛光过程中氧化作用与机械作用相匹配,是获得高抛光效率和良好的表面质量
其他文献
<正>王钢主任医师为甘肃省名中医、甘肃中医药大学附属医院风湿骨病科主任,从事风湿病科研、教学、临床工作二十余年,学验俱丰,在治疗非创伤性股骨头坏死合并类风湿关节炎方
影响保险商品需求的因素及对策建议陈良所谓保险商品需求是指消费者在一定的价格条件下，以一定认可的货币支付能力为基础的对保险商品的需要。需求是一个弹性变量，它首先表现在
“校中企”平台的恰当应用能够为实现更好的五年制高职会计的实践教学起到促进作用。当前“校中企”平台在五年制高职会计实践教学的应用当中仍存在一些仍待完善的问题。建立
随着成人高等教育的快速发展，成人学历教育正在向大学后继续教育模式转化．原有的传统教育方式、方法已不再适应新的教育形势。当前，成人教育根据社会发展的需要，应该以科学发展观
为了强化洪涝易发地区生产的安全，积极的针对河道现状做好防洪治理。本文对河道防洪治理中出现的问题进行深入的分析，并就措施做具体探讨，可为防洪治理实践提供参考。
音乐教学资源的开发和运用是实施教学改革一个不可缺少的方面,它不仅是课改中的教学设计、教学环节安排以及教学目标实现的必不可少的基础,更对音乐课堂教学改革中个性教学、
EAS电子标签的信号变化范围很大,为了提高EAS系统对电子标签的检测距离和减少误报率,EAS的接收机必须同时具有很高的灵敏度和大动态范围。针对检测过程中的远距离信号微弱和
上海市“福喜事件”爆发后,政府监管部门多管齐下以求解决食品生产安全保障难题。食品生产安全状况和食品生产监管实效有着密不可分的联系。但是从实证数据的简单分析看,“福
医疗费的增长已经失控。对药物、测试和治疗手段的创新是罪魁祸首。但是,如果技术能转而提供省钱的途径呢?核心问题寻求医疗业的摩尔定律领袖医疗技术的昂贵悖论这个医生会帮