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超精密光学元件制造技术
超精密光学元件制造技术
来源 :国防制造技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tenhuanggou
【摘 要】
:
【正】在科学和工程技术领域,超精密光学元件的制造技术正在成为关注的热点,其发展把超精密制造技术推进到传统机械制造不可企及的高度。对超精密光学元件尚无严格的定义,通
【作 者】
:
王大森
刘卫国
【机 构】
:
兵器工业集团公司,西安工业大学
【出 处】
:
国防制造技术
【发表日期】
:
2010年5期
【关键词】
:
精密光学元件
粗糙度
面型精度
离子束抛光
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【正】在科学和工程技术领域,超精密光学元件的制造技术正在成为关注的热点,其发展把超精密制造技术推进到传统机械制造不可企及的高度。对超精密光学元件尚无严格的定义,通常沿用机械制造的概念,将达到一定面型精度和表面粗糙度状态的
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