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尽管多数情况工程技术人员可以使用标准MEMS(微电子机械系统)装置(例如压力和加速度传感器)开发自己的系统,但在有些情况下设计人员则需自己定制MEMS.本文将介绍工程技术人员如何针对特殊需求开发MEMS装置.
MEMS设计是科学与艺术的结合
【摘 要】
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尽管多数情况工程技术人员可以使用标准MEMS(微电子机械系统)装置(例如压力和加速度传感器)开发自己的系统,但在有些情况下设计人员则需自己定制MEMS.本文将介绍工程技术人员
【机 构】
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ECN高级编辑
【出 处】
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电子产品世界
【发表日期】
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2004年12B期
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