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以As2,O3,InCl34H2O和正硅酸乙酯为原料,通过水解、缩聚制备了xIn2O3-xAs2O3-100SiO2(x=O.5~7.5)凝胶.在氧气中加热到450℃对凝胶热处理使其转化成凝胶玻璃,再在200~500℃与氢气反应,结果在SiO2凝胶玻璃中形成了立方相InAs.利用XRD测试了InAs纳米颗粒的大小,发现随着反应温度的升高及掺杂量的增加,InAs纳米颗粒粒径从6增大到29nm.电子衍射表明凝胶玻璃中的InAs纳米颗粒为多晶结构.