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研究两种背面平坦化方法(碱抛光和酸抛光)对PERL太阳电池的影响.通过分析激光扫描显微镜(LSM)、扫描电子显微镜(SEM)、少子寿命及电池的电性能参数、反射率和内量子效率(IQE),对比碱抛光条件下不同厚度的SiNx背钝化膜对电池的影响,并确定合适的SiNx厚度为180 nm.继而研究酸抛光的减薄量对电池的影响.综合分析少子寿命、LSM图像及电池的反射率、IQE和电性能参数,得到最优减薄量为0.24 g.此条件下制备出的单晶PERL电池效率为20.31％.