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利用红外光谱法对SF_6设备故障气体中的SiF_4进行定性、定量检测,该方法的线性范围为10~500μL/L,检出限为1μL/L,此方法可以较理想地判断出设备内含硅元素绝缘材料的受损情况。应用于现场SF_6气体绝缘开关类设备的潜伏性故障诊断,验证了分解产物SiF_4对设备内部工况诊断的有效性。