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采用不同网格尺寸的透射电镜铜网作为掩模，以烷烃硫醇类小分子自组装单层作为光刻胶，光学质量的云母为衬底，用亚稳氦原子光刻技术制备具有纳米台阶的金膜图形，最终用原子力显微镜分析表征。结果表明：这种技术可将具有纳米台阶的正负图形很好地传递到金膜，具有高的可信度。同时，在不同时的实验中光刻图形的重复性很好。