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三氟甲烷（CHF3）是一种强温室气体，其温室效应潜值是CO2的14800倍，因此，CHF3的处理是温室气体减排中一个十分重要和关键的课题。CHF3的排放源相对集中，纯度较高，因此十分有利于对其进行资源化利用而非目前所采取的高温焚烧法。本文主要综述了有关CHF3废气的资源化利用的研究现状，指出对其进行高温裂解（700℃以上），可以选择性地合成C2F4（TFE，四氟乙烯）和C3F6（HFP，六氟丙烯）。合适的催化剂可以显著提高CHF3转化率及C2F4和C3F6的收率。CHF3与CH4反应可以高选择性地合成CH