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期刊论文
新型高温化学气相反应器的设计与开发
新型高温化学气相反应器的设计与开发
来源 :机械制造 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lyaaaaaa
【摘 要】
:
阐述了一种新型高温化学反应系统的结构和工作原理,并简要地介绍了它在金属表面陶瓷膜制备中的应用。
【作 者】
:
郭广飞
薛屺
古安林
【机 构】
:
西南石油大学材料科学与工程学院
【出 处】
:
机械制造
【发表日期】
:
2010年8期
【关键词】
:
气相沉积
表面改性
高温化学气相反应器
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阐述了一种新型高温化学反应系统的结构和工作原理,并简要地介绍了它在金属表面陶瓷膜制备中的应用。
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