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本文用日立S-4800型冷场发射扫描电镜对不同粒径二氧化硅微球进行测长研究及形貌观察,针对二氧化硅材料特性和工作目标,使用多种测试条件,通过结果对比,分别获得测定二氧化硅微球直径和进行形貌观察的适宜条件。
二氧化硅微球的扫描电镜测长及形貌观察条件
【摘 要】
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本文用日立S-4800型冷场发射扫描电镜对不同粒径二氧化硅微球进行测长研究及形貌观察,针对二氧化硅材料特性和工作目标,使用多种测试条件,通过结果对比,分别获得测定二氧化硅
【机 构】
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国家纳米科学中心,天美（中国）科学仪器有限公司,中国科学院理化技术研究所
【出 处】
：
电子显微学报
【发表日期】
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2008年5期
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