【摘 要】
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利用化学脱钴处理后的硬质合金刀片在微波等离子体条件下沉积金刚石薄膜,用电子能谱仪(EDS)检测发现经化学酸蚀处理后的硬质合金刀片表面的钴含量基本在0.3%左右,对于金刚石
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利用化学脱钴处理后的硬质合金刀片在微波等离子体条件下沉积金刚石薄膜,用电子能谱仪(EDS)检测发现经化学酸蚀处理后的硬质合金刀片表面的钴含量基本在0.3%左右,对于金刚石膜的形核及生长几乎没有大的影响,膜层致密、晶型良好;但是在长时间的高温沉积过程中,钴逐渐向表面扩散,如900 ℃条件下10 h后刀片表面钴含量可达2.02%,可能对金刚石薄膜与基体之间的附着产生很大的影响,导致金刚石薄膜刀具使用使命的降低.
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