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一种陶瓷电容式压力传感器的设计和实验
一种陶瓷电容式压力传感器的设计和实验
来源 :城市道桥与防洪 | 被引量 : 0次 | 上传用户:temp_dl
【摘 要】
:
陶瓷电容式压力传感器具有抗腐蚀、耐高温、高精度、高稳定性、无污染和抗过载等优点,在工业中将有广泛用途.但是,其芯片目前国内尚无厂家可以生产.应客户要求,我们对陶瓷电
【作 者】
:
张宾
梅涛
马以武
唐力强
【出 处】
:
城市道桥与防洪
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
陶瓷
电容
压力
传感器
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陶瓷电容式压力传感器具有抗腐蚀、耐高温、高精度、高稳定性、无污染和抗过载等优点,在工业中将有广泛用途.但是,其芯片目前国内尚无厂家可以生产.应客户要求,我们对陶瓷电容式压力传感器进行了设计、建模、制作和实验,并使之满足批量生产的需要.
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